10月8日,晶盛機(jī)電成立控股子公司浙江晶盛光子科技有限公司(晶盛機(jī)電持股80%,杭州鴻豪企業(yè)管理合伙企業(yè)持股20%),主要負(fù)責(zé)光伏電池片設(shè)備業(yè)務(wù)。 據(jù)悉,晶盛光子主營管式PECVD、LPCVD、硼擴(kuò)和退火,以及單腔室多舟ALD和舟干清洗等多種太陽電池工藝設(shè)備。